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フォトマスク製造関連装置
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製造装置用部品
バルブ・配管部品・継手・真空ポンプ
電源/高周波電源
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静電気対策製品
クリーンウェア/手袋/マスク
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クリーンローラー/ゴムロール
その他クリーンルーム関連製品
ナノインプリント関連装置／材料／技術
モールド／スタンパ
ナノインプリント材料/ソフトリソグラフィ材料
UV硬化性樹脂／感光性樹脂／熱可塑性樹脂
ガラス材料
コーティング材料/レジスト材料
モールド剥離剤/離型剤
ナノインプリント装置
マスク
電子ビーム露光装置/電子ビーム描画装置
成膜装置
真空装置
コーター
洗浄装置
UV照射装置
エッチング装置
微細加工装置／技術
受託加工サービス
各種検査・リペア・測定装置
装置用システム／部品
その他 研究開発機器
